ВАКУУМ НАСОСУ
ВА́КУУМ НАСОСУ – көлөмдүү туюк идиште вакуумду пайда кылуу үчүн андагы газ менен бууну сордуруп чыгарууга ылайыкталган түзүлүш. Вакуум насосу таасир этүү принцибине жараша механикалык, агымдуу, сорбциялык, иондук, криогендик болуп бөлүнөт. Механикалык насос 1 н/м2ден (10–2 сым. мам. мм) 10–8 н/м2ге (10–10 сым. мам. мм) чейинки вакуумду алуу үчүн колдонулат. А г ы м д у у насосто суюктук же буу агымы сордурулуучу көлөмдөгү газдын молекулаларын кошо агызып кетет. С о р б ц и я л ы к насосто кээ бир заттардын (мисалы, Тi, Мо, Zr ж. б.) газды сиӊирип
(а) жана жалпы көрүнүшү (б).
алуу жөндөмдүүлүгү пайдаланылат. И о н д у к насостор газды күчтүү электр разряды менен иондоштурууга жана иондошкон молекулаларды электр талаасы менен жок кылууга негизделген. Конденсациялык насостун иштөө аракети төмөнкү температурага чейин муздатылган беттеги газды өзүнө сиӊирип ала тургандай болуп жасалган.