ВАКУУМ НАСОСУ
ВА́КУУМ НАСОСУ – көлөмдүү туюк идиште вакуумду пайда кылуу үчүн андагы газ м-н бууну сордуруп чыгарууга ылайыкталган түзүлүш. В. н. таасир этүү принцибине жараша мех., агымдуу, сорбциялык, иондук, криогендик болуп бөлүнөт. Мех. насос 1 н/м2ден (10–2 сым. мам. мм) 10–8 н/м2ге (10–10 сым. мам. мм) чейинки вакуумду алуу үчүн колдонулат. А г ы м д у у насосто суюктук же буу агымы сордурулуучу көлөмдөгү газдын молекулаларын кошо агызып кетет. С о р б ц и я л ы к насосто кээ бир заттардын (мис., Тi, Мо, Zr ж. б.) газды сиӊирип
(а) ж-а жалпы көрүнүшү (б).
алуу жөндөмдүүлүгү пайдаланылат. И о н д у к насостор газды күчтүү электр разряды м-н иондоштурууга ж-а иондошкон молекулаларды электр талаасы м-н жок кылууга негизделген. Конденсациялык насостун иштөө аракети төмөнкү темп-рага чейин муздатылган беттеги газды өзүнө сиӊирип ала тургандай болуп жасалган.